怎么确定真空箱氦质谱检漏仪用于镀膜设备的灵敏度？
2022.12.09
1.较小的检漏率：即真空箱氦质谱检漏仪能检测到较小的检漏率。
2.响应清除时间：当一定流量的探测气体进入氦质谱泄漏检测器时，电子系统和真空系统需要一定的响应时间，泄漏指示器可以达到大值，泄漏指示器不能立即恢复到零，需要一定时间才能下降，通常由于氦吸附和解吸，去除时间略长于响应时间。
3.启动时间：真空箱氦质谱检漏仪开启电源与能检测到泄漏之间的时间。
1.真空箱氦质谱检漏仪的功能可以满足检漏的要求。如果有些仪器没有反流检漏功能，则不适用于吸枪方法的检漏；有些仪器没有设置报废漏率的功能，不适合用于批量产品的检漏；流水线需要一定的检漏速度，此时，应选择带有双工位的检漏器。
2.仪器的灵敏度可以满足检漏的要求。不同类型的氦质谱检漏器在国内外生产的灵敏度不同。如果检漏要求的灵敏度高，我们应该仔细选择。
3.被检件不能受油污染，那么可以选购无油真空系统检漏仪。
4.如果被检件体积较大，则必须选择抽泵抽速大的检漏仪，否则需要加预抽泵。
5.如被检对象不固定，体积时大时小，灵敏度要求时高时低，应选用功能齐全、灵敏度高、检漏范围宽的检漏仪器。
6.检漏地点不固定，需经常搬运氦气质谱检漏仪时，应选用小型便携式仪器。
7.真空箱氦质谱检漏仪的价格是否低，操作是否简单，维修是否方便等问题，在满足上述检漏基本要求的基础上，也要综合考虑。
